・工場內循環水的直接熱交換器・不需要冷凍機，在溫度範圍的調整溫度用・高的溫度安定性、寬廣的溫度範圍、故障診斷、外部通訊等充實裝備在半導體製程裝置上有多量的實績・適合UL, SEMI規格、CE認證・可選擇變頻型
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