・0603晶片對應・應答速度: 13 msec (500mm時*) /18.5 msec (1000 mm時*)・破壞空氣不會吹飛工作物可滑順將工作物脫離・真空・正壓的切換時間不需調整・破壞空氣不需節流迴路・真空過濾器: ZFC050 (訂製品)
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